簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "周賢鎧".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="原子層沉積"


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    結合化學氣相沉積與原子層沉積法於矽晶基材上的鉑-釕觸媒沉積之研究
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 史安菟 指導教授: 洪儒生
    • 鉑釕(Pt-Ru)合金可以經由一些方法製備出,其中之一為採用薄膜製造技術。本研究宗旨在找到經由原子層沉積方法(atomic layer deposition, ALD)的鉑釕合金催化劑之反應區域。在…
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